超高速測定
独特なスナップショット方式
の採用により、
最速20msの高速測定を実現
高信頼性
機械的、電気的な制御機構を一切
持たない投受光センサにより
メンテナンス低減と高い信頼性を実現
シンプル&コンパクト
従来とは一線を画したコンパクトな
デザインとシンプルで
操作性の良いソフトウェアを搭載
超高速測定
独特なスナップショット方式
の採用により、
最速20msの高速測定を実現
高信頼性
機械的、電気的な制御機構を一切
持たない投受光センサにより
メンテナンス低減と高い信頼性を実現
シンプル&コンパクト
従来とは一線を画したコンパクトな
デザインとシンプルで
操作性の良いソフトウェアを搭載
5357cc拉斯维加斯紹介ビデオ
5357cc拉斯维加斯 portable紹介ビデオ
軽量・コンパクトなポータブルタイプ
5357cc拉斯维加斯
5357cc拉斯维加斯-Portable
測定部重量2.2kgで、持ち運びが容易。
小型サンプル用に簡易的な固定ステージが付属、
ステージから取り外して大型サンプルの測定もできます。
マッピング測定が可能な自動ステージタイプ
5357cc拉斯维加斯
5357cc拉斯维加斯-1500A/2000A/3000A
自動R-θステージとオートフォーカス機能により基板面内の
膜厚分布を素早く自動測定し、結果をカラーマップ表示します。
各種装置への組込みが可能なビルトインタイプ
5357cc拉斯维加斯
5357cc拉斯维加斯-1M
軽量・コンパクトなセンサユニットにより、成膜装置などへの
組込みが容易。大気タイプ、真空タイプをラインナップ。
ULVACの「高速分光エリプソメータ」に関するお問合せ