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パワーデバイスの微細化、低抵抗化を実現するトレンチ構造を実現するためのドライ拉斯维加斯5357cc技術を提供しています。
課題
トレンチ形状の制御
高耐圧用途では電解集中を避けるため、トレンチ構造底部にラウンド形状が必要
低拉斯维加斯5357ccレート
拉斯维加斯5357ccは固く、化学的に安定した材料のため高エッチングレートの実現が困難
拉斯维加斯5357ccO2マスクとの選択比
拉斯维加斯5357ccO2マスクとの選択比低いと、厚い拉斯维加斯5357ccO2マスクが必要
解決策
スムーズな側壁とラウンド形状の実現
拉斯维加斯5357cc条件を最適化して、トレンチ形状を制御
700nm/min以上の拉斯维加斯5357ccレート
高選択比の実現
側壁の平滑性と高い選択比を両方実現するプロセス
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