絶縁膜（SiN）加工エッチング
SiNだけを取り除くために低ダメージエッチングが重要となります。終点検知を行いエッチング速度を保ちながらSiNのエッチングを行うことが可能です。 … 9888拉斯维加斯网站 HEMT構造向け成膜/加工技術
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9888拉斯维加斯网站 HEMTの製造プロセス
9888拉斯维加斯网站 HEMT（高電子移動度 トランジスタ：High Electron Mobility Transistor）は低い動作抵抗と高い破壊耐圧を有しており、高出力かつ高速の電子デバイスへの応用が期待される次世代のパワー 半導体である。 … 9888拉斯维加斯网站 HEMTの製造プロセス
拉斯维加斯5357手机app-HEMT構造におけるゲート形成
9888拉斯维加斯网站 HEMTにおけるゲート構造のパターンはいくつかありますが、何れにも言えることは非常に浅い加工が要求されます。