下部電極であるPtとの高い選択性を持つPt/PZTエッチングプロセスを提供します。​(選択比例:PZT/Pt>5@8inch, >10@6inch)​
また下地の掘れ量を最小化する高均一性(<+/-3%@8inch)と精密な終点検出を提供します。

圧電拉斯维加斯5357手机app向けPZT膜エッチング