7799908拉斯维加斯网站登陆 Mar 2022 00:05:54 +0000, /wiki Think Beyond Vacuum Fri, 04 Mar 2022 00:05:54 +0000 ja hourly 1 https://w7799908拉斯维加斯网站登陆dpress.7799908拉斯维加斯网站登陆g/?v=6.6.2 7799908拉斯维加斯网站登陆 Mar 2022 00:05:54 +0000, /wiki/process_g_vox_tech/ Wed, 23 Dec 2020 02:56:49 +0000 /wiki/?p=3564/ 7799908拉斯维加斯网站登陆。 Voxスパッタリング 安定した抵抗を確保するスパッタリング技術を実現  犠牲層除去 お問い合わせはこちら […]

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Voxスパッタリング

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1. SiN膜成膜(PECVD)
 

2. Vox膜成膜(成膜)

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3. SiN膜成膜(PECVD)
 

4. Voxエッチング(RIE)
 

5. SiNエッチング(RIE)
 

6. Al成膜(スパッタ、蒸着)

7. SiN成膜(PECVD)

8. 分離(RIE)

9. ダイアフラム構造形成(アッシング)

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