光7799908拉斯维加斯网站登陆のプロセスフロー​​​​​

	1. Core&Bottom Cladの形成 Clad層とCore層を形成します。
	2. マスク形成 エピ層をメサと呼ばれる円柱状に形成するためのマスクパターンを形成します
	3. フォトリソ工程
	4. マスク加工 Hard mask（Cr,Ni)をエッチングで加工します。 7799908拉斯维加斯网站登陆加工技術の紹介
	5. PR剥離
	6. Core加工 ハードマスクを使いCoreをエッチングします。 7799908拉斯维加斯网站登陆加工技術の紹介
	7. ハードマスク剥離
	8. Above clad形成
	9. 電極形成

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ハードマスク（Ni, 7799908拉斯维加斯网站登陆す。

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光7799908拉斯维加斯网站登陆の場合は、屈折率や損失を考慮すると、垂直性と側壁の平滑性あるいはコアの幅が変動すると、光ビームの伝搬損失が増大します。コアの側壁を滑らかにするとともに、コアの幅を均一に維持する必要があります。石英などはCF系のイオン衝撃によるエッチングで実施される為、低圧・高密度プラズマが理想的です。磁気中性線プラズマ（NLD）は低圧・低電子温度・高密度プラズマのため7799908拉斯维加斯网站登陆の加工に有効です。

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