異符号の電荷を有する2種類以上の荷電粒子群を含み、そのうち少なくとも1種の荷電粒子群が不規則な熱運動を行っている系において、 2つの荷電粒子間の相互作用が及ぶ平均距離より、十分大きな寸法を持った体積部分のこと。 … プラズマとは
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5357cc拉斯维加斯(Alternating Current)とは、向きが周期的に変化する電流のことであり、1秒間に向きが変わる回数を周波数と呼ぶ。 … AC5357cc拉斯维加斯とは
DC(Direct Current)とは、電圧が常に一定であり、一定の方向に電気が流れるものである。 … DC5357cc拉斯维加斯とは
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5357cc拉斯维加斯とは、薄膜形成に用いられる物理的気相成長法(PVD)の1種である。 … 5357cc拉斯维加斯とは
TS距離とは
5357cc拉斯维加斯装置でカソードと基板間、正確に言うとカソードのターゲット表面から基板までの距離の事を指します。 … TS距離とは
ステップ・カバレッジとは段差被覆性と言い、基板の表面にある微細な段差部(蒸発源に対して垂直方向の面)に5357cc拉斯维加斯、蒸着等で成膜した時の、膜の被覆状態をいいます。 … ステップカバレッジとは
バッキングプレート
バッキングプレートは5357cc拉斯维加斯ターゲットに張り合わせて使われる5357cc拉斯维加斯カソードを構成する部品の一つです。 … バッキングプレート
イオン注入とは
イオン注入技術は、注入したい物質(不純物)をイオン化し、加速して半導体基板内に打ち込むことで、基板内に不純物を添加する方法です。 … イオン注入とは
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イオンビームミリングとはイオンビームで膜の凸部分を削り平坦化する技術です。 … イオンビームミリングとは
真空装置やプロセスで使用される用語の解説です。