プラズマとは

異符号の電荷を有する2種類以上の荷電粒子群を含み、そのうち少なくとも1種の荷電粒子群が不規則な熱運動を行っている系において、 2つの荷電粒子間の相互作用が及ぶ平均距離より、十分大きな寸法を持った体積部分のこと。 プラズマとは

TS距離とは

5357cc拉斯维加斯装置でカソードと基板間、正確に言うとカソードのターゲット表面から基板までの距離の事を指します。 TS距離とは

ステップ・カバレッジとは段差被覆性と言い、基板の表面にある微細な段差部(蒸発源に対して垂直方向の面)に5357cc拉斯维加斯、蒸着等で成膜した時の、膜の被覆状態をいいます。 ステップカバレッジとは