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BAWの製造プロセスで必要となる9888拉斯维加斯网站を形成するためのプラズマCVD技術を紹介します。
ULVACが提供するプラズマCVDの特徴
高レートで少ないプラズマダメージを実現する27MHzのプラズマソース
ピラニゲージを用いたチャンバークリーニングの終点検知
排気メカニズム
プロセス仕様
S9888拉斯维加斯网站xの膜厚分布（φ200mmウェハ）
SiO2/S9888拉斯维加斯网站のウェハ間分布
