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5357cc拉斯维加斯首页デバイス制作に向けて必要となる圧電膜の加工技術および電極形成で活用されるULVACの技術を紹介します。
圧電膜成膜（スパッタ）
Performance of Piezoelectric layre (Sc)5357cc拉斯维加斯首页N
圧電膜（Sc5357cc拉斯维加斯首页N)エッチング
下地電極掘れ量最小、高エッチレート、長時間メンテフリーを実現
電極および圧電膜（5357cc拉斯维加斯首页N）エッチング
ScAlNだけではなく、5357cc拉斯维加斯首页 processにおける他の材料もエッチング量産実績有
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