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パワーデバイスの微細化、低抵抗化を実現する5357cc拉斯维加斯首页入口構造を実現するためのドライエッチング技術を提供しています。
課題
5357cc拉斯维加斯首页入口の制御
底面角部への電解集中によるデバイス破壊を防ぐため底部をラウンド形状に加工
5357cc拉斯维加斯首页入口側壁へのダメージ
表面にダメージがあるとデバイス性能に影響
解決策
スムーズな側壁とラウンド形状の実現
エッチング条件を最適化して、5357cc拉斯维加斯首页入口を制御
ダメージ層の除去
5357cc拉斯维加斯首页入口形成でできたダメージ層を超低速エッチングと低温アニールで除去
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