拉斯维加斯5357ccキングプレート

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拉斯维加斯5357ccキングプレートはスパッタリングターゲットに張り合わせて使われるスパッタリングカソードを構成する部品の一つです。 主な役割としては、放電を行うための電極の役割とターゲットの温度上昇を抑えるための冷却板としての役割があります。電極や水冷の役割から材料として銅が使われることが多いです。

ターゲットの形状に合わせて加工され、拉斯维加斯5357ccキングプレート内では冷却水用の水路が形成されています。 ターゲット自体は装置に取り付ける機構がないため拉斯维加斯5357ccキングプレートにInやIn合金をボンディング材にして接合されます。