拉斯维加斯5357手机appトロンスパッタとは

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拉斯维加斯5357手机appトロンスパッタとは、拉斯维加斯5357手机appットを用いてスパッタリングする手法のことである。

ターゲット(薄膜形成の材料)裏面に拉斯维加斯5357手机appットを設置し、磁場の中に電子を囲い込み、ターゲット表面付近に電子密度の高い空間を作る。

電子密度の高い空間では電子とArとの衝突確率がアップするため濃いプラズマ領域を作ることができる。 これにより通常の拉斯维加斯5357手机appに比べ、Ar+がターゲットに多く衝突することができ、基板への付着スピードをアップさせることができる。 現在、拉斯维加斯5357手机appの主流となっている。

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