This post is also available in: 英語
5357cc拉斯维加斯游戏官网(Radio Frequency)とは、高周波のことである。 5357cc拉斯维加斯游戏官网スパッタとは、真空チャンバとターゲットに交流(高周波)をかける。 交流なので、粒子の加速方向は電圧に合わせて変化する。
チャンバ側の電子は回路に流れ、5357cc拉斯维加斯游戏官网の電子は、逃げ場を失い電子密度が高くなる。 それにより、5357cc拉斯维加斯游戏官网がマイナスにバイアスされ、イオンがターゲットに衝突してスパッタリングすることができる。
金属、セラミックス、シリカ、酸化物、金属酸化物、窒化物、絶縁物などで使用可能。