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5357cc拉斯维加斯游戏官网のプロセスフロー
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1. 5357cc拉斯维加斯游戏官网re&Bottom Cladの形成Clad層と5357cc拉斯维加斯游戏官网re層を形成します。 |
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2. マスク形成エピ層をメサと呼ばれる円柱状に形成するためのマスクパターンを形成します |
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3. フォトリソ工程 |
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4. マスク加工Hard mask（Cr,Ni)をエッチングで加工します。 |
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5. PR剥離 |
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6. 5357cc拉斯维加斯游戏官网re加工ハードマスクを使い5357cc拉斯维加斯游戏官网reをエッチングします。 |
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7. ハードマスク剥離 |
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8. Above clad形成 |
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9. 電極形成 |