{"id":3038,"date":"2020-04-07T13:18:55","date_gmt":"2020-04-07T04:18:55","guid":{"rendered":"https:\/\/www.ulvac.co.jp\/wiki\/?p=3038\/"},"modified":"2022-02-18T09:03:45","modified_gmt":"2022-02-18T00:03:45","slug":"process_g_pzt_etching","status":"publish","type":"post","link":"https:\/\/www.ulvac.co.jp\/wiki\/process_g_pzt_etching\/","title":{"rendered":"\u5727\u96fbMEMS\u5411\u3051PZT\u819c\u30a8\u30c3\u30c1\u30f3\u30b0"},"content":{"rendered":"<p>拉斯维加斯3499网站登录4e0b拉斯维加斯3499网站登录90e8拉斯维加斯3499网站登录96fb拉斯维加斯3499网站登录6975拉斯维加斯3499网站登录3067拉斯维加斯3499网站登录3042拉斯维加斯3499网站登录308bPt拉斯维加斯3499网站登录3068拉斯维加斯3499网站登录306e拉斯维加斯3499网站登录9ad8拉斯维加斯3499网站登录3044拉斯维加斯3499网站登录9078拉斯维加斯3499网站登录629e拉斯维加斯3499网站登录6027拉斯维加斯3499网站登录3092拉斯维加斯3499网站登录6301拉斯维加斯3499网站登录3064Pt\/PZT拉斯维加斯3499网站登录30a8拉斯维加斯3499网站登录30c3拉斯维加斯3499网站登录30c1拉斯维加斯3499网站登录30f3拉斯维加斯3499网站登录30b0拉斯维加斯3499网站登录30d7拉斯维加斯3499网站登录30ed拉斯维加斯3499网站登录30bb拉斯维加斯3499网站登录30b9拉斯维加斯3499网站登录3092拉斯维加斯3499网站登录63d0拉斯维加斯3499网站登录4f9b拉斯维加斯3499网站登录3057拉斯维加斯3499网站登录307e拉斯维加斯3499网站登录3059拉斯维加斯3499网站登录3002拉斯维加斯3499网站登录200b拉斯维加斯3499网站登录ff08拉斯维加斯3499网站登录9078拉斯维加斯3499网站登录629e拉斯维加斯3499网站登录6bd4拉斯维加斯3499网站登录4f8b拉斯维加斯3499网站登录ff1aPZT\/Pt拉斯维加斯3499网站登录ff1e5@8inch,拉斯维加斯3499网站登录00a0拉斯维加斯3499网站登录ff1e10@6inch拉斯维加斯3499网站登录ff09拉斯维加斯3499网站登录200b<br \/>\n拉斯维加斯3499网站登录307e拉斯维加斯3499网站登录305f拉斯维加斯3499网站登录4e0b拉斯维加斯3499网站登录5730拉斯维加斯3499网站登录306e拉斯维加斯3499网站登录6398拉斯维加斯3499网站登录308c拉斯维加斯3499网站登录91cf拉斯维加斯3499网站登录3092拉斯维加斯3499网站登录6700拉斯维加斯3499网站登录5c0f拉斯维加斯3499网站登录5316拉斯维加斯3499网站登录3059拉斯维加斯3499网站登录308b拉斯维加斯3499网站登录9ad8拉斯维加斯3499网站登录5747拉斯维加斯3499网站登录4e00拉斯维加斯3499网站登录6027(拉斯维加斯3499网站登录ff1c+\/-3%@8inch)拉斯维加斯3499网站登录3068拉斯维加斯3499网站登录7cbe拉斯维加斯3499网站登录5bc6拉斯维加斯3499网站登录306a拉斯维加斯3499网站登录7d42拉斯维加斯3499网站登录70b9拉斯维加斯3499网站登录691c拉斯维加斯3499网站登录51fa拉斯维加斯3499网站登录3092拉斯维加斯3499网站登录63d0拉斯维加斯3499网站登录4f9b拉斯维加斯3499网站登录3057拉斯维加斯3499网站登录307e拉斯维加斯3499网站登录3059拉斯维加斯3499网站登录3002<\/p>\n<p><\/p>\n<h3>拉斯维加斯3499网站登录8ab2拉斯维加斯3499网站登录984c<\/h3>\n<h4>拉斯维加斯3499网站登录30fb拉斯维加斯3499网站登录30d1拉斯维加斯3499网站登录30bf拉斯维加斯3499网站登录30fc拉斯维加斯3499网站登录30f3拉斯维加斯3499网站登录5074拉斯维加斯3499网站登录58c1拉斯维加斯3499网站登录3078拉斯维加斯3499网站登录306e拉斯维加斯3499网站登录4ed8拉斯维加斯3499网站登录7740<\/h4>\n<p>拉斯维加斯3499网站登录96e3拉斯维加斯3499网站登录30a8拉斯维加斯3499网站登录30c3拉斯维加斯3499网站登录30c1拉斯维加斯3499网站登录30f3拉斯维加斯3499网站登录30b0拉斯维加斯3499网站登录6750拉斯维加斯3499网站登录6599拉斯维加斯3499网站登录306e拉斯维加斯3499网站登录305f拉斯维加斯3499网站登录3081拉斯维加斯3499网站登录3001拉斯维加斯3499网站登录30a8拉斯维加斯3499网站登录30c3拉斯维加斯3499网站登录30c1拉斯维加斯3499网站登录30f3拉斯维加斯3499网站登录30b0拉斯维加斯3499网站登录751f拉斯维加斯3499网站登录6210拉斯维加斯3499网站登录7269拉斯维加斯3499网站登录304c拉斯维加斯3499网站登录5074拉斯维加斯3499网站登录58c1拉斯维加斯3499网站登录306b拉斯维加斯3499网站登录4ed8拉斯维加斯3499网站登录7740拉斯维加斯3499网站登录3057拉斯维加斯3499网站登录3084拉斯维加斯3499网站登录3059拉斯维加斯3499网站登录3044<\/p>\n<h4>拉斯维加斯3499网站登录30fb拉斯维加斯3499网站登录4e0b拉斯维加斯3499网站登录90e8拉斯维加斯3499网站登录96fb拉斯维加斯3499网站登录6975拉斯维加斯3499网站登录3068拉斯维加斯3499网站登录306e拉斯维加斯3499网站登录9078拉斯维加斯3499网站登录629e拉斯维加斯3499网站登录6bd4<\/h4>\n<p>拉斯维加斯3499网站登录819c拉斯维加斯3499网站登录69cb拉斯维加斯3499网站登录6210拉斯维加斯3499网站登录304c拉斯维加斯3499网站登录6570拉斯维加斯3499网站登录03bcm拉斯维加斯3499网站登录306ePZT拉斯维加斯3499网站登录819c拉斯维加斯3499网站登录3068拉斯维加斯3499网站登录7d04100nm拉斯维加斯3499网站登录306e拉斯维加斯3499网站登录91d1拉斯维加斯3499网站登录5c5e拉斯维加斯3499网站登录96fb拉斯维加斯3499网站登录6975拉斯维加斯3499网站登录3067拉斯维加斯3499网站登录69cb拉斯维加斯3499网站登录6210拉斯维加斯3499网站登录3055拉斯维加斯3499网站登录308c拉斯维加斯3499网站登录3066拉斯维加斯3499网站登录304a拉斯维加斯3499网站登录308a拉斯维加斯3499网站登录3001拉斯维加斯3499网站登录4e0b拉斯维加斯3499网站登录90e8拉斯维加斯3499网站登录96fb拉斯维加斯3499网站登录6975拉斯维加斯3499网站登录3092拉斯维加斯3499网站登录6b8b拉斯维加斯3499网站登录30598拉斯维加斯3499网站登录30a4拉斯维加斯3499网站登录30f3拉斯维加斯3499网站登录30c1拉斯维加斯3499网站登录30d7拉斯维加斯3499网站登录30ed拉斯维加斯3499网站登录30bb拉斯维加斯3499网站登录30b9拉斯维加斯3499网站登录304c拉斯维加斯3499网站登录56f0拉斯维加斯3499网站登录96e3<\/p>\n<h4>拉斯维加斯3499网站登录30fb拉斯维加斯3499网站登录5b89拉斯维加斯3499网站登录5b9a拉斯维加斯3499网站登录3057拉斯维加斯3499网站登录305f拉斯维加斯3499网站登录751f拉斯维加斯3499网站登录7523<\/h4>\n<p>EPD拉斯维加斯3499网站登录4fe1拉斯维加斯3499网站登录53f7拉斯维加斯3499网站登录306e拉斯维加斯3499网站登录4f4e拉斯维加斯3499网站登录4e0b拉斯维加斯3499网站登录306a拉斯维加斯3499网站登录3069拉斯维加斯3499网站登录306b拉斯维加斯3499网站登录3088拉斯维加斯3499网站登录308a拉斯维加斯3499网站登录5b89拉斯维加斯3499网站登录5b9a拉斯维加斯3499网站登录3057拉斯维加斯3499网站登录305f拉斯维加斯3499网站登录751f拉斯维加斯3499网站登录7523拉斯维加斯3499网站登录304c拉斯维加斯3499网站登录56f0拉斯维加斯3499网站登录96e3<\/p>\n<p><\/p>\n<h3>拉斯维加斯3499网站登录89e3拉斯维加斯3499网站登录6c7a拉斯维加斯3499网站登录7b56<\/h3>\n<h4>拉斯维加斯3499网站登录30fbPZT拉斯维加斯3499网站登录591a拉斯维加斯3499网站登录5c64拉斯维加斯3499网站登录819c拉斯维加斯3499网站登录5c02拉斯维加斯3499网站登录7528拉斯维加斯3499网站登录306e拉斯维加斯3499网站登录30d7拉斯维加斯3499网站登录30e9拉斯维加斯3499网站登录30ba拉斯维加斯3499网站登录30de拉斯维加斯3499网站登录30bd拉斯维加斯3499网站登录30fc拉斯维加斯3499网站登录30b9拉斯维加斯3499网站登录6d3b拉斯维加斯3499网站登录7528<\/h4>\n<p>拉斯维加斯3499网站登录30a8拉斯维加斯3499网站登录30c3拉斯维加斯3499网站登录30c1拉斯维加斯3499网站登录30f3拉斯维加斯3499网站登录30b0拉斯维加斯3499网站登录5206拉斯维加斯3499网站登录5e033%拉斯维加斯3499网站登录4ee5拉斯维加斯3499网站登录4e0b拉斯维加斯3499网站登录3092拉斯维加斯3499网站登录9054拉斯维加斯3499网站登录6210拉斯维加斯3499网站登录3002拉斯维加斯3499网站登录5074拉斯维加斯3499网站登录58c1拉斯维加斯3499网站登录30c7拉斯维加斯3499网站登录30dd拉斯维加斯3499网站登录304c拉斯维加斯3499网站登录306a拉斯维加斯3499网站登录304f拉斯维加斯3499网站登录3001Pt\/PZT拉斯维加斯3499网站登录306e拉斯维加斯3499网站登录9078拉斯维加斯3499网站登录629e拉斯维加斯3499网站登录6bd4拉斯维加斯3499网站登录ff1e5拉斯维加斯3499网站登录ff208inch拉斯维加斯3499网站登录30a6拉斯维加斯3499网站登录30a7拉斯维加斯3499网站登录30cf拉斯维加斯3499网站登录30fc拉斯维加斯3499网站登录3092拉斯维加斯3499网站登录5b9f拉斯维加斯3499网站登录73fe拉斯维加斯3499网站登录ff08拉斯维加斯3499网站登录ff1e10@6inch拉斯维加斯3499网站登录30a6拉斯维加斯3499网站登录30a7拉斯维加斯3499网站登录30cf拉斯维加斯3499网站登录30fc拉斯维加斯3499网站登录ff09<\/p>\n<h4>拉斯维加斯3499网站登录30fb拉斯维加斯3499网站登录9ad8拉斯维加斯3499网站登录5747拉斯维加斯3499网站登录4e00拉斯维加斯3499网站登录6027拉斯维加斯3499网站登录3068拉斯维加斯3499网站登录7cbe拉斯维加斯3499网站登录5bc6拉斯维加斯3499网站登录306a拉斯维加斯3499网站登录7d42拉斯维加斯3499网站登录70b9拉斯维加斯3499网站登录691c拉斯维加斯3499网站登录51fa拉斯维加斯3499网站登录306b拉斯维加斯3499网站登录3088拉斯维加斯3499网站登录308a拉斯维加斯3499网站登录3001拉斯维加斯3499网站登录5404拉斯维加斯3499网站登录30a8拉斯维加斯3499网站登录30c3拉斯维加斯3499网站登录30c1拉斯维加斯3499网站登录30f3拉斯维加斯3499网站登录30b0拉斯维加斯3499网站登录819c拉斯维加斯3499网站登录4e0b拉斯维加斯3499网站登录90e8拉斯维加斯3499网站登录306e拉斯维加斯3499网站登录5c64拉斯维加斯3499网站登录306e拉斯维加斯3499网站登录6398拉斯维加斯3499网站登录308c拉斯维加斯3499网站登录91cf拉斯维加斯3499网站登录3092拉斯维加斯3499网站登录6700拉斯维加斯3499网站登录5c0f拉斯维加斯3499网站登录5316<\/h4>\n<h4>拉斯维加斯3499网站登录30fbEPD拉斯维加斯3499网站登录4fe1拉斯维加斯3499网站登录53f7拉斯维加斯3499网站登录306e拉斯维加斯3499网站登录4f4e拉斯维加斯3499网站登录4e0b拉斯维加斯3499网站登录3084拉斯维加斯3499网站登录30a8拉斯维加斯3499网站登录30c3拉斯维加斯3499网站登录30c1拉斯维加斯3499网站登录30f3拉斯维加斯3499网站登录30b0拉斯维加斯3499网站登录30ec拉斯维加斯3499网站登录30fc拉斯维加斯3499网站登录30c8拉斯维加斯3499网站登录306e拉斯维加斯3499网站登录4f4e拉斯维加斯3499网站登录4e0b拉斯维加斯3499网站登录306e拉斯维加斯3499网站登录306a拉斯维加斯3499网站登录3044拉斯维加斯3499网站登录30cf拉斯维加斯3499网站登录30fc拉斯维加斯3499网站登录30c9拉斯维加斯3499网站登录3067拉斯维加斯3499网站登录5b89拉斯维加斯3499网站登录5b9a拉斯维加斯3499网站登录751f拉斯维加斯3499网站登录7523拉斯维加斯3499网站登录304c拉斯维加斯3499网站登录53ef拉斯维加斯3499网站登录80fd<\/h4>\n<p>6-8拉斯维加斯3499网站登录30a4拉斯维加斯3499网站登录30f3拉斯维加斯3499网站登录30c1拉斯维加斯3499网站登录3067拉斯维加斯3499网站登录5b89拉斯维加斯3499网站登录5b9a拉斯维加斯3499网站登录3057拉斯维加斯3499网站登录305f拉斯维加斯3499网站登录751f拉斯维加斯3499网站登录7523拉斯维加斯3499网站登录304c拉斯维加斯3499网站登录53ef拉斯维加斯3499网站登录80fd<\/p>\n<p><\/p>\n<p><b>Etching Profile <\/b><b>Uniformity<\/b> <b>of Pt\/PZT<\/b> <b>Film @ 8inch<\/b><\/p>\n<table>\n<tbody>\n<tr>\n<td><a href=\"https:\/\/www.ulvac.co.jp\/wiki\/wp-content\/uploads\/2020\/03\/PZT_Ething_Process.png\" rel=\"lightbox-0\"><img loading=\"lazy\" decoding=\"async\" class=\"aligncenter wp-image-3042\" src=\"https:\/\/www.ulvac.co.jp\/wiki\/wp-content\/uploads\/2020\/03\/PZT_Ething_Process.png\" alt=\"\" width=\"807\" height=\"559\" srcset=\"https:\/\/www.ulvac.co.jp\/wiki\/wp-content\/uploads\/2020\/03\/PZT_Ething_Process.png 807w, https:\/\/www.ulvac.co.jp\/wiki\/wp-content\/uploads\/2020\/03\/PZT_Ething_Process-300x208.png 300w, https:\/\/www.ulvac.co.jp\/wiki\/wp-content\/uploads\/2020\/03\/PZT_Ething_Process-768x532.png 768w, https:\/\/www.ulvac.co.jp\/wiki\/wp-content\/uploads\/2020\/03\/PZT_Ething_Process-470x326.png 470w, https:\/\/www.ulvac.co.jp\/wiki\/wp-content\/uploads\/2020\/03\/PZT_Ething_Process-285x197.png 285w\" sizes=\"(max-width: 807px) 100vw, 807px\" \ alt="拉斯维加斯3499网站登录" /><\/a><\/td>\n<td>8拉斯维加斯3499网站登录30a4拉斯维加斯3499网站登录30f3拉斯维加斯3499网站登录30c1拉斯维加斯3499网站登录306e拉斯维加斯3499网站登录5168拉斯维加斯3499网站登录9762拉斯维加斯3499网站登录306b拉斯维加斯3499网站登录304a拉斯维加斯3499网站登录3044拉斯维加斯3499网站登录3066拉斯维加斯3499网站登录4e0b拉斯维加斯3499网站登录90e8Pt拉斯维加斯3499网站登录3092拉斯维加斯3499网站登录6b8b拉斯维加斯3499网站登录3059拉斯维加斯3499网站登录30d7拉斯维加斯3499网站登录30ed拉斯维加斯3499网站登录30bb拉斯维加斯3499网站登录30b9拉斯维加斯3499网站登录3092拉斯维加斯3499网站登录5b89拉斯维加斯3499网站登录5b9a拉斯维加斯3499网站登录7684拉斯维加斯3499网站登录306b拉斯维加斯3499网站登录63d0拉斯维加斯3499网站登录4f9b<\/p>\n<p>Material : Pt\/PZT\/Pt<\/p>\n<p>Mask : Photo Resist<\/p>\n<p>Size :拉斯维加斯3499网站登录00a0Depth 100\/3000\/100nm<\/p>\n<p>ER :拉斯维加斯3499网站登录00a0Pt  200nm\/min拉斯维加斯3499网站登录00a0 PZT  150nm\/min<\/p>\n<p>Selectivity :拉斯维加斯3499网站登录00a0Resist\/PZT  0.6拉斯维加斯3499网站登录00a0 PZT\/Pt  5.0<\/td>\n<\/tr>\n<\/tbody>\n<\/table>\n<p><\/p>\n<h4><b>End point detecting results of various layers<\/b><\/h4>\n<p><a href=\"https:\/\/www.ulvac.co.jp\/wiki\/wp-content\/uploads\/2016\/03\/EDP_Bottom2.jpg\" rel=\"lightbox-1\"><img loading=\"lazy\" decoding=\"async\" class=\"aligncenter wp-image-3138 size-medium\" src=\"https:\/\/www.ulvac.co.jp\/wiki\/wp-content\/uploads\/2016\/03\/EDP_Bottom2-290x300.jpg\" alt=\"\" width=\"290\" height=\"300\" srcset=\"https:\/\/www.ulvac.co.jp\/wiki\/wp-content\/uploads\/2016\/03\/EDP_Bottom2-290x300.jpg 290w, https:\/\/www.ulvac.co.jp\/wiki\/wp-content\/uploads\/2016\/03\/EDP_Bottom2-470x487.jpg 470w, https:\/\/www.ulvac.co.jp\/wiki\/wp-content\/uploads\/2016\/03\/EDP_Bottom2-285x295.jpg 285w, https:\/\/www.ulvac.co.jp\/wiki\/wp-content\/uploads\/2016\/03\/EDP_Bottom2.jpg 504w\" sizes=\"(max-width: 290px) 100vw, 290px\" \ alt="拉斯维加斯3499网站登录" /><\/a><\/p>\n<h4><a target=\"_blank\" href=\"https:\/\/www.ulvac.co.jp\/products\/etching_system\/_ne-5700ne-7800\/index.html\" rel=\"noopener\"><strong>拉斯维加斯3499网站登录95a2拉斯维加斯3499网站登录9023拉斯维加斯3499网站登录88c5拉斯维加斯3499网站登录7f6e拉斯维加斯3499网站登录306e拉斯维加斯3499网站登录8a73拉斯维加斯3499网站登录7d30拉斯维加斯3499网站登录306f拉斯维加斯3499网站登录3053拉斯维加斯3499网站登录3061拉斯维加斯3499网站登录3089<\/strong><\/a><\/h4>\n<h4><span style=\"color: #0000ff;\"><a target=\"_blank\" href=\"https:\/\/www.ulvac.co.jp\/mail_info\/elec-inquiry\/\" rel=\"noopener\"><strong>拉斯维加斯3499网站登录304a拉斯维加斯3499网站登录554f拉斯维加斯3499网站登录3044拉斯维加斯3499网站登录5408拉斯维加斯3499网站登录308f拉斯维加斯3499网站登录305b拉斯维加斯3499网站登录306f拉斯维加斯3499网站登录3053拉斯维加斯3499网站登录3061拉斯维加斯3499网站登录3089<\/strong><\/a><\/span><\/h4>\n","protected":false},"excerpt":{"rendered":"<p>拉斯维加斯3499网站登录4e0b拉斯维加斯3499网站登录90e8拉斯维加斯3499网站登录96fb拉斯维加斯3499网站登录6975拉斯维加斯3499网站登录3067拉斯维加斯3499网站登录3042拉斯维加斯3499网站登录308bPt拉斯维加斯3499网站登录3068拉斯维加斯3499网站登录306e拉斯维加斯3499网站登录9ad8拉斯维加斯3499网站登录3044拉斯维加斯3499网站登录9078拉斯维加斯3499网站登录629e拉斯维加斯3499网站登录6027拉斯维加斯3499网站登录3092拉斯维加斯3499网站登录6301拉斯维加斯3499网站登录3064Pt\/PZT拉斯维加斯3499网站登录30a8拉斯维加斯3499网站登录30c3拉斯维加斯3499网站登录30c1拉斯维加斯3499网站登录30f3拉斯维加斯3499网站登录30b0拉斯维加斯3499网站登录30d7拉斯维加斯3499网站登录30ed拉斯维加斯3499网站登录30bb拉斯维加斯3499网站登录30b9拉斯维加斯3499网站登录3092拉斯维加斯3499网站登录63d0拉斯维加斯3499网站登录4f9b拉斯维加斯3499网站登录3057拉斯维加斯3499网站登录307e拉斯维加斯3499网站登录3059拉斯维加斯3499网站登录3002拉斯维加斯3499网站登录200b拉斯维加斯3499网站登录ff08拉斯维加斯3499网站登录9078拉斯维加斯3499网站登录629e拉斯维加斯3499网站登录6bd4拉斯维加斯3499网站登录4f8b拉斯维加斯3499网站登录ff1aPZT\/Pt拉斯维加斯3499网站登录ff1e5@8inch,拉斯维加斯3499网站登录00a0拉斯维加斯3499网站登录ff1e10@6inch拉斯维加斯3499网站登录ff09拉斯维加斯3499网站登录200b 拉斯维加斯3499网站登录307e拉斯维加斯3499网站登录305f拉斯维加斯3499网站登录4e0b拉斯维加斯3499网站登录5730拉斯维加斯3499网站登录306e拉斯维加斯3499网站登录6398拉斯维加斯3499网站登录308c拉斯维加斯3499网站登录91cf拉斯维加斯3499网站登录3092拉斯维加斯3499网站登录6700拉斯维加斯3499网站登录5c0f拉斯维加斯3499网站登录5316拉斯维加斯3499网站登录3059拉斯维加斯3499网站登录308b拉斯维加斯3499网站登录9ad8拉斯维加斯3499网站登录5747拉斯维加斯3499网站登录4e00拉斯维加斯3499网站登录6027(拉斯维加斯3499网站登录ff1c+\/-3%@8inch)拉斯维加斯3499网站登录3068拉斯维加斯3499网站登录7cbe [&hellip;]<\/p>\n","protected":false},"author":17,"featured_media":3026,"comment_status":"closed","ping_status":"closed","sticky":false,"template":"","format":"standard","meta":{"footnotes":""},"categories":[42],"tags":[],"class_list":["post-3038","post","type-post","status-publish","format-standard","has-post-thumbnail","hentry","category-mems"],"aioseo_notices":[],"_links":{"self":[{"href":"https:\/\/www.ulvac.co.jp\/wiki\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/3038"}],"collection":[{"href":"https:\/\/www.ulvac.co.jp\/wiki\/wp-json\/wp\/v2\/posts"}],"about":[{"href":"https:\/\/www.ulvac.co.jp\/wiki\/wp-json\/wp\/v2\/types\/post"}],"author":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.ulvac.co.jp\/wiki\/wp-json\/wp\/v2\/users\/17"}],"replies":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.ulvac.co.jp\/wiki\/wp-json\/wp\/v2\/comments?post=3038"}],"version-history":[{"count":18,"href":"https:\/\/www.ulvac.co.jp\/wiki\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/3038\/revisions"}],"predecessor-version":[{"id":4692,"href":"https:\/\/www.ulvac.co.jp\/wiki\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/3038\/revisions\/4692"}],"wp:featuredmedia":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.ulvac.co.jp\/wiki\/wp-json\/wp\/v2\/media\/3026"}],"wp:attachment":[{"href":"https:\/\/www.ulvac.co.jp\/wiki\/wp-json\/wp\/v2\/media?parent=3038"}],"wp:term":[{"taxonomy":"category","embeddable":true,"href":"https:\/\/www.ulvac.co.jp\/wiki\/wp-json\/wp\/v2\/categories?post=3038"},{"taxonomy":"post_tag","embeddable":true,"href":"https:\/\/www.ulvac.co.jp\/wiki\/wp-json\/wp\/v2\/tags?post=3038"}],"curies":[{"name":"wp","href":"https:\/\/api.w.org\/{rel}","templated":true}]}}