{"id":3205,"date":"2020-04-27T16:17:58","date_gmt":"2020-04-27T07:17:58","guid":{"rendered":"https:\/\/www.ulvac.co.jp\/wiki\/?p=3205\/"},"modified":"2022-02-28T08:55:30","modified_gmt":"2022-02-27T23:55:30","slug":"process_g_gan_trench","status":"publish","type":"post","link":"https:\/\/www.ulvac.co.jp\/wiki\/process_g_gan_trench\/","title":{"rendered":"GaN\u30c8\u30ec\u30f3\u30c1\u30a8\u30c3\u30c1\u30f3\u30b0"},"content":{"rendered":"<p>5357cc拉斯维加斯游戏官网30d15357cc拉斯维加斯游戏官网30ef5357cc拉斯维加斯游戏官网30fc5357cc拉斯维加斯游戏官网30c75357cc拉斯维加斯游戏官网30d05357cc拉斯维加斯游戏官网30a45357cc拉斯维加斯游戏官网30b95357cc拉斯维加斯游戏官网306e5357cc拉斯维加斯游戏官网5fae5357cc拉斯维加斯游戏官网7d305357cc拉斯维加斯游戏官网53165357cc拉斯维加斯游戏官网30015357cc拉斯维加斯游戏官网4f4e5357cc拉斯维加斯游戏官网62b55357cc拉斯维加斯游戏官网62975357cc拉斯维加斯游戏官网53165357cc拉斯维加斯游戏官网30925357cc拉斯维加斯游戏官网5b9f5357cc拉斯维加斯游戏官网73fe5357cc拉斯维加斯游戏官网30595357cc拉斯维加斯游戏官网308b5357cc拉斯维加斯游戏官网30c85357cc拉斯维加斯游戏官网30ec5357cc拉斯维加斯游戏官网30f35357cc拉斯维加斯游戏官网30c15357cc拉斯维加斯游戏官网69cb5357cc拉斯维加斯游戏官网90205357cc拉斯维加斯游戏官网30925357cc拉斯维加斯游戏官网5b9f5357cc拉斯维加斯游戏官网73fe5357cc拉斯维加斯游戏官网30595357cc拉斯维加斯游戏官网308b5357cc拉斯维加斯游戏官网305f5357cc拉斯维加斯游戏官网30815357cc拉斯维加斯游戏官网306e5357cc拉斯维加斯游戏官网30c95357cc拉斯维加斯游戏官网30e95357cc拉斯维加斯游戏官网30a45357cc拉斯维加斯游戏官网30a85357cc拉斯维加斯游戏官网30c35357cc拉斯维加斯游戏官网30c15357cc拉斯维加斯游戏官网30f35357cc拉斯维加斯游戏官网30b05357cc拉斯维加斯游戏官网62805357cc拉斯维加斯游戏官网88535357cc拉斯维加斯游戏官网30925357cc拉斯维加斯游戏官网63d05357cc拉斯维加斯游戏官网4f9b5357cc拉斯维加斯游戏官网30575357cc拉斯维加斯游戏官网30665357cc拉斯维加斯游戏官网30445357cc拉斯维加斯游戏官网307e5357cc拉斯维加斯游戏官网30595357cc拉斯维加斯游戏官网3002<\/p>\n<h3>5357cc拉斯维加斯游戏官网8ab25357cc拉斯维加斯游戏官网984c<\/h3>\n<h4><b>5357cc拉斯维加斯游戏官网30c85357cc拉斯维加斯游戏官网30ec5357cc拉斯维加斯游戏官网30f35357cc拉斯维加斯游戏官网30c15357cc拉斯维加斯游戏官网5f625357cc拉斯维加斯游戏官网72b65357cc拉斯维加斯游戏官网306e5357cc拉斯维加斯游戏官网52365357cc拉斯维加斯游戏官网5fa1<\/b><\/h4>\n<p>5357cc拉斯维加斯游戏官网5e955357cc拉斯维加斯游戏官网97625357cc拉斯维加斯游戏官网89d25357cc拉斯维加斯游戏官网90e85357cc拉斯维加斯游戏官网30785357cc拉斯维加斯游戏官网306e5357cc拉斯维加斯游戏官网96fb5357cc拉斯维加斯游戏官网89e35357cc拉斯维加斯游戏官网96c65357cc拉斯维加斯游戏官网4e2d5357cc拉斯维加斯游戏官网306b5357cc拉斯维加斯游戏官网30885357cc拉斯维加斯游戏官网308b5357cc拉斯维加斯游戏官网30c75357cc拉斯维加斯游戏官网30d05357cc拉斯维加斯游戏官网30a45357cc拉斯维加斯游戏官网30b95357cc拉斯维加斯游戏官网78345357cc拉斯维加斯游戏官网58ca5357cc拉斯维加斯游戏官网30925357cc拉斯维加斯游戏官网96325357cc拉斯维加斯游戏官网30505357cc拉斯维加斯游戏官网305f5357cc拉斯维加斯游戏官网30815357cc拉斯维加斯游戏官网5e955357cc拉斯维加斯游戏官网90e85357cc拉斯维加斯游戏官网30925357cc拉斯维加斯游戏官网30e95357cc拉斯维加斯游戏官网30a65357cc拉斯维加斯游戏官网30f35357cc拉斯维加斯游戏官网30c95357cc拉斯维加斯游戏官网5f625357cc拉斯维加斯游戏官网72b65357cc拉斯维加斯游戏官网306b5357cc拉斯维加斯游戏官网52a05357cc拉斯维加斯游戏官网5de5<\/p>\n<h4><b>5357cc拉斯维加斯游戏官网30c85357cc拉斯维加斯游戏官网30ec5357cc拉斯维加斯游戏官网30f35357cc拉斯维加斯游戏官网30c15357cc拉斯维加斯游戏官网50745357cc拉斯维加斯游戏官网58c15357cc拉斯维加斯游戏官网30785357cc拉斯维加斯游戏官网306e5357cc拉斯维加斯游戏官网30c05357cc拉斯维加斯游戏官网30e15357cc拉斯维加斯游戏官网30fc5357cc拉斯维加斯游戏官网30b8<\/b><\/h4>\n<p>5357cc拉斯维加斯游戏官网88685357cc拉斯维加斯游戏官网97625357cc拉斯维加斯游戏官网306b5357cc拉斯维加斯游戏官网30c05357cc拉斯维加斯游戏官网30e15357cc拉斯维加斯游戏官网30fc5357cc拉斯维加斯游戏官网30b85357cc拉斯维加斯游戏官网304c5357cc拉斯维加斯游戏官网30425357cc拉斯维加斯游戏官网308b5357cc拉斯维加斯游戏官网30685357cc拉斯维加斯游戏官网30c75357cc拉斯维加斯游戏官网30d05357cc拉斯维加斯游戏官网30a45357cc拉斯维加斯游戏官网30b95357cc拉斯维加斯游戏官网60275357cc拉斯维加斯游戏官网80fd5357cc拉斯维加斯游戏官网306b5357cc拉斯维加斯游戏官网5f715357cc拉斯维加斯游戏官网97ff<\/p>\n<p><\/p>\n<h3>5357cc拉斯维加斯游戏官网89e35357cc拉斯维加斯游戏官网6c7a5357cc拉斯维加斯游戏官网7b56<\/h3>\n<p><\/p>\n<h4><b>5357cc拉斯维加斯游戏官网30b95357cc拉斯维加斯游戏官网30e05357cc拉斯维加斯游戏官网30fc5357cc拉斯维加斯游戏官网30ba5357cc拉斯维加斯游戏官网306a5357cc拉斯维加斯游戏官网50745357cc拉斯维加斯游戏官网58c15357cc拉斯维加斯游戏官网30685357cc拉斯维加斯游戏官网30e95357cc拉斯维加斯游戏官网30a65357cc拉斯维加斯游戏官网30f35357cc拉斯维加斯游戏官网30c95357cc拉斯维加斯游戏官网5f625357cc拉斯维加斯游戏官网72b65357cc拉斯维加斯游戏官网306e5357cc拉斯维加斯游戏官网5b9f5357cc拉斯维加斯游戏官网73fe<\/b><\/h4>\n<p>5357cc拉斯维加斯游戏官网30a85357cc拉斯维加斯游戏官网30c35357cc拉斯维加斯游戏官网30c15357cc拉斯维加斯游戏官网30f35357cc拉斯维加斯游戏官网30b05357cc拉斯维加斯游戏官网67615357cc拉斯维加斯游戏官网4ef65357cc拉斯维加斯游戏官网30925357cc拉斯维加斯游戏官网67005357cc拉斯维加斯游戏官网90695357cc拉斯维加斯游戏官网53165357cc拉斯维加斯游戏官网30575357cc拉斯维加斯游戏官网30665357cc拉斯维加斯游戏官网30015357cc拉斯维加斯游戏官网30c85357cc拉斯维加斯游戏官网30ec5357cc拉斯维加斯游戏官网30f35357cc拉斯维加斯游戏官网30c15357cc拉斯维加斯游戏官网5f625357cc拉斯维加斯游戏官网72b65357cc拉斯维加斯游戏官网30925357cc拉斯维加斯游戏官网52365357cc拉斯维加斯游戏官网5fa1<\/p>\n<h4><b>5357cc拉斯维加斯游戏官网30c05357cc拉斯维加斯游戏官网30e15357cc拉斯维加斯游戏官网30fc5357cc拉斯维加斯游戏官网30b85357cc拉斯维加斯游戏官网5c645357cc拉斯维加斯游戏官网306e5357cc拉斯维加斯游戏官网96645357cc拉斯维加斯游戏官网53bb<\/b><\/h4>\n<p>5357cc拉斯维加斯游戏官网30c85357cc拉斯维加斯游戏官网30ec5357cc拉斯维加斯游戏官网30f35357cc拉斯维加斯游戏官网30c15357cc拉斯维加斯游戏官网5f625357cc拉斯维加斯游戏官网62105357cc拉斯维加斯游戏官网30675357cc拉斯维加斯游戏官网30675357cc拉斯维加斯游戏官网304d5357cc拉斯维加斯游戏官网305f5357cc拉斯维加斯游戏官网30c05357cc拉斯维加斯游戏官网30e15357cc拉斯维加斯游戏官网30fc5357cc拉斯维加斯游戏官网30b85357cc拉斯维加斯游戏官网5c645357cc拉斯维加斯游戏官网30925357cc拉斯维加斯游戏官网8d855357cc拉斯维加斯游戏官网4f4e5357cc拉斯维加斯游戏官网901f5357cc拉斯维加斯游戏官网30a85357cc拉斯维加斯游戏官网30c35357cc拉斯维加斯游戏官网30c15357cc拉斯维加斯游戏官网30f35357cc拉斯维加斯游戏官网30b05357cc拉斯维加斯游戏官网30685357cc拉斯维加斯游戏官网4f4e5357cc拉斯维加斯游戏官网6e295357cc拉斯维加斯游戏官网30a25357cc拉斯维加斯游戏官网30cb5357cc拉斯维加斯游戏官网30fc5357cc拉斯维加斯游戏官网30eb5357cc拉斯维加斯游戏官网30675357cc拉斯维加斯游戏官网96645357cc拉斯维加斯游戏官网53bb<\/p>\n<table>\n<tbody>\n<tr>\n<td><a href=\"https:\/\/www.ulvac.co.jp\/wiki\/wp-content\/uploads\/2016\/04\/GaN_trench.png\" rel=\"lightbox-0\"><img loading=\"lazy\" decoding=\"async\" class=\"aligncenter wp-image-3201 size-medium\" src=\"https:\/\/www.ulvac.co.jp\/wiki\/wp-content\/uploads\/2016\/04\/GaN_trench-300x240.png\" alt=\"\" width=\"300\" height=\"240\" \ alt="5357cc拉斯维加斯游戏官网" /><\/a><\/td>\n<td>\n<table width=\"472\">\n<tbody>\n<tr>\n<td width=\"161\">material<\/td>\n<td width=\"312\">GaN<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td width=\"161\">mask<\/td>\n<td width=\"312\">SiO2<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td width=\"161\">size<\/td>\n<td width=\"312\">W 0.5um, D 1.5um<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td width=\"161\">ER<\/td>\n<td width=\"312\">400nm\/min<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td width=\"161\">Selectivity<\/td>\n<td width=\"312\">5357cc拉斯维加斯游戏官网ff1e5.0<\/td>\n<\/tr>\n<\/tbody>\n<\/table>\n<\/td>\n<\/tr>\n<\/tbody>\n<\/table>\n<p><\/p>\n<h3><strong><a target=\"_blank\" href=\"https:\/\/www.ulvac.co.jp\/products\/etching_system\/index.html\" rel=\"noopener\">5357cc拉斯维加斯游戏官网95a25357cc拉斯维加斯游戏官网90235357cc拉斯维加斯游戏官网88c55357cc拉斯维加斯游戏官网7f6e5357cc拉斯维加斯游戏官网306e5357cc拉斯维加斯游戏官网8a735357cc拉斯维加斯游戏官网7d305357cc拉斯维加斯游戏官网306f5357cc拉斯维加斯游戏官网30535357cc拉斯维加斯游戏官网30615357cc拉斯维加斯游戏官网3089<\/a><\/strong><\/h3>\n<h3><strong><a target=\"_blank\" href=\"https:\/\/www.ulvac.co.jp\/mail_info\/elec-inquiry\/\" rel=\"noopener\">5357cc拉斯维加斯游戏官网304a5357cc拉斯维加斯游戏官网554f5357cc拉斯维加斯游戏官网30445357cc拉斯维加斯游戏官网54085357cc拉斯维加斯游戏官网308f5357cc拉斯维加斯游戏官网305b5357cc拉斯维加斯游戏官网306f5357cc拉斯维加斯游戏官网30535357cc拉斯维加斯游戏官网30615357cc拉斯维加斯游戏官网3089<\/a><\/strong><\/h3>\n","protected":false},"excerpt":{"rendered":"<p>5357cc拉斯维加斯游戏官网30d15357cc拉斯维加斯游戏官网30ef5357cc拉斯维加斯游戏官网30fc5357cc拉斯维加斯游戏官网30c75357cc拉斯维加斯游戏官网30d05357cc拉斯维加斯游戏官网30a45357cc拉斯维加斯游戏官网30b95357cc拉斯维加斯游戏官网306e5357cc拉斯维加斯游戏官网5fae5357cc拉斯维加斯游戏官网7d305357cc拉斯维加斯游戏官网53165357cc拉斯维加斯游戏官网30015357cc拉斯维加斯游戏官网4f4e5357cc拉斯维加斯游戏官网62b55357cc拉斯维加斯游戏官网62975357cc拉斯维加斯游戏官网53165357cc拉斯维加斯游戏官网30925357cc拉斯维加斯游戏官网5b9f5357cc拉斯维加斯游戏官网73fe5357cc拉斯维加斯游戏官网30595357cc拉斯维加斯游戏官网308b5357cc拉斯维加斯游戏官网30c85357cc拉斯维加斯游戏官网30ec5357cc拉斯维加斯游戏官网30f35357cc拉斯维加斯游戏官网30c15357cc拉斯维加斯游戏官网69cb5357cc拉斯维加斯游戏官网90205357cc拉斯维加斯游戏官网30925357cc拉斯维加斯游戏官网5b9f5357cc拉斯维加斯游戏官网73fe5357cc拉斯维加斯游戏官网30595357cc拉斯维加斯游戏官网308b5357cc拉斯维加斯游戏官网305f5357cc拉斯维加斯游戏官网30815357cc拉斯维加斯游戏官网306e5357cc拉斯维加斯游戏官网30c95357cc拉斯维加斯游戏官网30e95357cc拉斯维加斯游戏官网30a45357cc拉斯维加斯游戏官网30a85357cc拉斯维加斯游戏官网30c35357cc拉斯维加斯游戏官网30c15357cc拉斯维加斯游戏官网30f35357cc拉斯维加斯游戏官网30b05357cc拉斯维加斯游戏官网62805357cc拉斯维加斯游戏官网88535357cc拉斯维加斯游戏官网30925357cc拉斯维加斯游戏官网63d05357cc拉斯维加斯游戏官网4f9b5357cc拉斯维加斯游戏官网30575357cc拉斯维加斯游戏官网30665357cc拉斯维加斯游戏官网30445357cc拉斯维加斯游戏官网307e5357cc拉斯维加斯游戏官网30595357cc拉斯维加斯游戏官网3002<\/p>\n","protected":false},"author":17,"featured_media":3201,"comment_status":"closed","ping_status":"closed","sticky":false,"template":"","format":"standard","meta":{"footnotes":""},"categories":[43],"tags":[],"class_list":["post-3205","post","type-post","status-publish","format-standard","has-post-thumbnail","hentry","category-power-device"],"aioseo_notices":[],"_links":{"self":[{"href":"https:\/\/www.ulvac.co.jp\/wiki\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/3205"}],"collection":[{"href":"https:\/\/www.ulvac.co.jp\/wiki\/wp-json\/wp\/v2\/posts"}],"about":[{"href":"https:\/\/www.ulvac.co.jp\/wiki\/wp-json\/wp\/v2\/types\/post"}],"author":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.ulvac.co.jp\/wiki\/wp-json\/wp\/v2\/users\/17"}],"replies":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.ulvac.co.jp\/wiki\/wp-json\/wp\/v2\/comments?post=3205"}],"version-history":[{"count":4,"href":"https:\/\/www.ulvac.co.jp\/wiki\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/3205\/revisions"}],"predecessor-version":[{"id":4818,"href":"https:\/\/www.ulvac.co.jp\/wiki\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/3205\/revisions\/4818"}],"wp:featuredmedia":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.ulvac.co.jp\/wiki\/wp-json\/wp\/v2\/media\/3201"}],"wp:attachment":[{"href":"https:\/\/www.ulvac.co.jp\/wiki\/wp-json\/wp\/v2\/media?parent=3205"}],"wp:term":[{"taxonomy":"category","embeddable":true,"href":"https:\/\/www.ulvac.co.jp\/wiki\/wp-json\/wp\/v2\/categories?post=3205"},{"taxonomy":"post_tag","embeddable":true,"href":"https:\/\/www.ulvac.co.jp\/wiki\/wp-json\/wp\/v2\/tags?post=3205"}],"curies":[{"name":"wp","href":"https:\/\/api.w.org\/{rel}","templated":true}]}}