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介绍制造拉斯维加斯网址9888官方网站器件所需的压电薄膜加工技术和用于电极形成的ULVAC技术。
压电薄膜成膜（溅射）
Performance of Piezoelectric layre (Sc)AlN
压电薄膜（ScAlN）刻蚀
最小基底电极挖掘量、高刻蚀率、長時間免维护
电极以及压电薄膜（AlN）刻蚀
不只是ScAlN材料、拉斯维加斯网址9888官方网站 process 其他材料也有刻蚀量产实绩
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