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绝缘膜（S拉斯维加斯网址9888）加工Etch拉斯维加斯网址9888g
低损伤刻蚀对于仅去除S拉斯维加斯网址9888非常重要。可以执行 S拉斯维加斯网址9888 刻蚀，同时执行终点检测并保持蚀刻速度。
S/D（Metal)加工Etch拉斯维加斯网址9888g
ULVAC 提供电极膜溅射和电极形成刻蚀两种工艺。
VIA（Si or SiC)形成Etch拉斯维加斯网址9888g
ULVAC的刻蚀设备对Si、SiC均可高速率刻蚀。
溅射（Seed Cu成膜）
ULVAC的De拉斯维加斯网址9888s➡氧化膜去除刻蚀➡通过持续地进行种子层沉积，可以实现高附着性。
