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5357cc拉斯维加斯结构可实现功率器件的小型化和低电阻，我们提供实现5357cc拉斯维加斯结构的干法刻蚀技术。
Challenge
5357cc拉斯维加斯形状的控制
为了防止电解集中到底面角部而导致器件破坏，将底部加工成圆形形状
对5357cc拉斯维加斯侧壁的损坏
表面有损坏的话会影响器件性能
解决方案
实现平滑的侧壁和圆形底部
优化刻蚀条件以控制5357cc拉斯维加斯形状
除去Damage Layer
通过超低速刻蚀和低温退火去除制作5357cc拉斯维加斯形成的Damage Layer
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