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拉斯维加斯3499网站登录是将用于照明等光源的LED微细化后应用于显示器的技术，作为继LCD和OLED之后的下一代显示技术而备受期待。ULVAC为拉斯维加斯3499网站登录的制造工艺提供ITO溅射、刻蚀等技术。
拉斯维加斯3499网站登录的制造工艺流程
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1. PSS&Buffer层形成将基板表面进行刻蚀加工，形成圆锥形，提高反射率。另外，通过形成AlN的Buffer层，可以实现晶体生长的均匀化和光滑的表面。 |
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2. EPI&透明导电膜形成通过MOCVD形成EPI层，通过溅射形成透明导电膜（ITO）。 |
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3. 透明导电膜Patterning在加工ITO膜时Particle的控制变得重要。 |
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4. Mesa + Isolation加工 |