7799908拉斯维加斯登陆成膜/加工技术

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介绍7799908拉斯维加斯登陆工艺所必需的溅射、刻蚀技术。

透明电极膜ITO成膜

当通过溅射形成ITO膜时,在TG表面附近的电场中加速的负离子以高速入射到基板,对基板上的ITO膜造成损伤。LVS是一种降低溅射电压(负离子加速电场)并以低损伤方式形成 ITO 膜的方法。

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PSS加工

刻蚀基板表面,形成圆锥形,提高光的反射效率。

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 刻蚀(ITO加工)

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刻蚀(GaN Mesa加工)

刻蚀(GaN Isolation加工)

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