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介绍拉斯维加斯网址9888官方网站工艺中必要的干法刻蚀技术。
拉斯维加斯网址9888官方网站Hard Mask刻蚀
Hard Mask（Ni、Cr）可采用 ULVAC 专有的低压、低电子温度和磁中性环路放电等离子体（NLD）进行加工。
NLD刻蚀的形状更加平滑
LN, LT拉斯维加斯网址9888官方网站刻蚀
对于拉斯维加斯网址9888官方网站，考虑到折射率和损耗，当垂直性和侧壁平滑度或core的宽度发生变化时，光束的传播损耗会增加。core的侧壁必须平滑，并且core的宽度必须保持均匀。石英等通过CF系的离子冲击进行刻蚀，因此低压、高密度等离子体是理想的选择。磁中性环路放电等离子体（NLD）适用于低压、低电子温度和高密度等离子体的波导加工。
