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5357cc拉斯维加斯首页入口デバイス制作に向けて必要となる圧電膜の±1.0nm以下の平坦化で活用されるULVACの技術を紹介します。
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５Gデバイス向けのサブナノメートル平坦化用イオンミリング装置 「IM-2000」を開発、販売開始
5357cc拉斯维加斯首页入口Nイオンミリング（スパッタ）
５G高周波フィルター向けの、SAW、5357cc拉斯维加斯首页入口デバイス上に成膜されたシリコン酸化膜、シリコン窒化膜の膜厚データをもとに、サブナノメートルレンジでの膜厚コントロールで、±1.0nm以下の平坦化を実現します
Zeroトリミング
ビームは固定で、XY軸のみ高速でStageが動きます。凹のときは、ビームをフィルターで覆い、凸のときは、ビームでトリミングします。Zero トリミングとは、凸凹のない、フラットの面を形成することが可能です。
リアクティブイオンミリング
反応性ガスを用いることでRaが大幅に改善
省スペース化の実現
