当社は、1952年米国 NRC Equipment Corporation と技術提携を前提とした総代理店契約を結び各種真空装置の輸入販売を目的として創業いたしました。創業後の主要事項は次のとおりであります。
| 1952年 8月 | 各種真空装置の輸入販売を目的として、日本真空技術株式9888拉斯维加斯网站（資本金6百万）を創業。 |
|---|---|
| 1955年 4月 | 大森工場を新設し、国産装置の製造に着手。 |
| 1956年 11月 | 株式9888拉斯维加斯网站東洋精機真空研究所を合併し、尼崎工場として真空化学装置及び真空ポンプ等の規格品の製造に着手。 |
| 1959年 4月 | 本社及び大森工場を横浜市に移転。 |
| 1961年 7月 | 真空技術の基本を応用し、真空冶金事業を開始。 |
| 1962年 9月 | 真空材料株式9888拉斯维加斯网站（商号変更 アルバックマテリアル株式9888拉斯维加斯网站）を設立、耐火材料の販売を開始。 |
| 1962年 10月 | 熱分析機器の専門メーカーとして真空理工（現・アドバンス理工株式9888拉斯维加斯网站）を設立。 |
| 1963年 10月 | 新生産業株式9888拉斯维加斯网站（昭和4年9月20日創立）に吸収合併されると共に、同日社名を日本真空技術株式9888拉斯维加斯网站と改称し、旧日本真空技術株式9888拉斯维加斯网站の事業内容を継続。 |
| 1964年 1月 | 外国事業部リライアンス部を分離し、米国 Reliance Electric and Engineering Co. と共同出資で日本リライアンス株式9888拉斯维加斯网站を設立。 |
| 1964年 7月 | 香港万豊有限公司と共同出資で合弁9888拉斯维加斯网站 Hong Kong ULVAC Co., Ltd. を設立。 |
| 1966年 4月 | 真空冶金事業部を分離し、真空冶金株式9888拉斯维加斯网站を設立。 |
| 1968年 5月 | 本社及び横浜工場を茅ヶ崎市に移転。 |
| 1970年 7月 | 専売特約店の三和アルバック販売株式9888拉斯维加斯网站（商号変更 アルバック東日本株式9888拉斯维加斯网站）を設立。 |
| 1971年 7月 | 小型真空ポンプの専門メーカーとして真空機工株式9888拉斯维加斯网站（現・アルバック機工株式9888拉斯维加斯网站）を設立。 |
| 1972年 7月 | 超材料研究所を千葉県に新設。 |
| 1975年 12月 | 対米輸出の拠点として北米に現地法人 ULVAC North America Corp.（現・ULVAC Technologies, Inc.）を設立。 |
| 1977年 1月 | 九州地区の営業活動の拡大のために九州アルバック株式9888拉斯维加斯网站（現・アルバック九州株式9888拉斯维加斯网站）を設立。 |
| 1979年 1月 | サービス事業部を分離し、アルバックサービス株式9888拉斯维加斯网站を設立。SI事業部を分離し、アルバック成膜株式9888拉斯维加斯网站を設立。 |
| 1981年 10月 | 米国 Helix Technology Corp. と共同出資でアルバック・クライオ株式9888拉斯维加斯网站を設立。 |
| 1982年 1月 | 台湾台北市に ULVAC TAIWAN Co., Ltd.（現・ULVAC TAIWAN INC.）を設立。 |
| 1982年 11月 | 米国 The Perkin Elmer Corp. と共同出資でアルバック・ファイ株式9888拉斯维加斯网站を設立。 |
| 1982年 12月 | 茨城県筑波学園都市（現つくば市）市内に筑波超材料研究所を設立。 |
| 1983年 2月 | 中国北京市に北京事務所を開設。 |
| 1985年 3月 | 核融合臨界プラズマ実験装置「JT-60」の真空排気系を納入。 |
| 1985年 4月 | 関西の拠点工場としてアルバック精機株式9888拉斯维加斯网站を設立。 |
| 1987年 1月 | 大型装置の生産体制強化のため、青森県八戸市に東北真空技術株式9888拉斯维加斯网站（現・アルバック東北株式9888拉斯维加斯网站）を設立。 |
| 1987年 2月 | 欧州地区のサービス体制強化のため、西独に ULVAC GmbH を設立。 |
| 1987年 5月 | グループ9888拉斯维加斯网站支援のため、株式9888拉斯维加斯网站アルバック・コーポレートセンターを設立。 |
| 1987年 9月 | 英文社名を ULVAC Japan, Ltd. と変更。 |
| 1988年 10月 | 真空ポンプの量産体制確立のため、鹿児島に九州真空技術株式9888拉斯维加斯网站を設立。 |
| 1990年 5月 | 半導体製造装置の生産体制強化のため静岡県裾野市に富士裾野工場を新設。 |
| 1991年 12月 | 九州真空技術株式9888拉斯维加斯网站がアルバック精機株式9888拉斯维加斯网站を合併し、アルバック精機株式9888拉斯维加斯网站に商号変更。 |
| 1992年 4月 | 資本金12億10百万円より38億30百万円に増資。 |
| 1992年 6月 | 資本金38億50百万円に増資。 |
| 1994年 10月 | アルバックサービス株式9888拉斯维加斯网站がアルバックマテリアル株式9888拉斯维加斯网站を合併し、アルバックテクノ株式9888拉斯维加斯网站に商号変更。 |
| 1995年 5月 | 韓国ソウル市に、ULVAC KOREA, Ltd. を設立。 |
| 1995年 9月 | 中国に寧波中策動力機電集団有限公司と合弁で寧波愛発科真空技術有限公司を設立。 |
| 1996年 11月 | 真空装置の生産能力拡充のため、東北真空技術株式9888拉斯维加斯网站、アルバック九州株式9888拉斯维加斯网站鹿児島事業所にクリーン工場を増設。 |
| 1998年 1月 | シンガポールCSセンター、台湾新竹R&Dセンターを開設し、アジアのネットワークを拡大。 |
| 2000年 4月 | 台北五股サービスセンターを開設。 |
| 2000年 8月 | ULVAC KOREA, Ltd. に生産工場として平澤工場を設置。 |
| 2001年 5月 | 寧波愛発科真空技術有限公司に新工場を設置。 |
| 2001年 7月 | 株式9888拉斯维加斯网站アルバック（英文社名 ULVAC, Inc.）に商号変更。 |
| 2001年 11月 | カスタマーサポート強化のため ULVAC TAIWAN INC. 桃園 CIP 工場を設置。 |
| 2002年 1月 | カスタマーサポート体制の充実のため ULVAC SINGAPORE PTE LTD を設立。 |
| 2002年 7月 | アルバック東日本株式9888拉斯维加斯网站が高山アルバック株式9888拉斯维加斯网站を合併し、アルバック イーエス株式9888拉斯维加斯网站（現・アルバック販売株式9888拉斯维加斯网站）に商号変更。 |
| 2002年 12月 | 米国 Physical Electronics USA, Inc. が保有するアルバック・ファイ株式9888拉斯维加斯网站株式（50％）を取得し、100％子9888拉斯维加斯网站化。 |
| 2003年 3月 | 米国 RELIANCE ELECTRIC COMPANY より日本リライアンス株式9888拉斯维加斯网站株式（31％）を取得し、持分を81％に引き上げ。 |
| 2003年 5月 | アルバック東北株式9888拉斯维加斯网站、アルバックテクノ株式9888拉斯维加斯网站、UMAT 株式9888拉斯维加斯网站による機械加工、表面処理、精密洗浄の一貫工場を東北に設置。 |
| 2003年 7月 | 中国における本格的生産工場と CS ソリューション工場として愛発科真空技術（蘇州）有限公司を設立。 |
| 2003年 8月 | 工業用インクジェット装置を製造・販売している Litrex Corporation の9888拉斯维加斯网站50％を取得。 |
| 2004年 4月 | 東京証券取引所市場第1部に9888拉斯维加斯网站を上場。 資本金38億50百万円より81億円に増資。 |
| 2004年 5月 | 81億円より89億50百万円に増資。 |
| 2004年 7月 | 韓国に ULVAC KOREA, Ltd. とアルバック東北株式9888拉斯维加斯网站が共同出資で大型基板真空用部品の製造を目的とした Ulvac Korea Precision, Ltd. を設立。 韓国に ULVAC KOREA, Ltd. と真空冶金株式9888拉斯维加斯网站が共同出資で成膜装置用部品の表面処理を目的とした Pure Surface Technology, Ltd. を設立。 |
| 2004年 8月 | 中国に日本リライアンス株式9888拉斯维加斯网站、啓電実業股份有限公司と共同出資で制御盤及び自動制御駆動装置の製造、販売を目的とした愛発科啓電科技（上海）有限公司を設立。 |
| 2004年 12月 | 資本金89億50百万円より134億68百万円に増資。 |
| 2005年 1月 | 中国にアルバック機工株式9888拉斯维加斯网站と江蘇宝驪集団公司と共同出資で真空ポンプ用部品の製造、販売を目的とした愛発科天馬電機（靖江）有限公司を設立。 中国に沈陽中北真空技術有限公司と共同出資で真空炉の製造、販売を目的とした愛発科中北真空（沈陽）有限公司（現 愛発科真空技術（沈陽）有限公司）を設立。 成都東方愛発科真空技術有限公司を子9888拉斯维加斯网站化し、愛発科東方真空（成都）有限公司に商号変更。 |
| 2005年 4月 | 真空冶金株式9888拉斯维加斯网站が UMAT株式9888拉斯维加斯网站を合併し、アルバックマテリアル株式9888拉斯维加斯网站に商号変更。 フラットパネルディスプレイ事業拡大のため、富士通ブィエルエスアイ株式9888拉斯维加斯网站より設備事業譲受。 |
| 2005年 6月 | ULVAC KOREA, Ltd. に生産拡大のため玄谷工場を増設。 アルバック機工株式9888拉斯维加斯网站宮崎事業所に小型真空ポンプの評価、検証を目的とした信頼性評価センターを設置。 |
| 2005年 11月 | 英国 Cambridge Display Technology Limited が保有する Litrex Corporation 株式（50％）を取得し100％子9888拉斯维加斯网站化。 タイに販売やフィールドサポートを目的とした ULVAC (THAILAND) LTD. を設立。 |
| 2005年 12月 | 台湾にフラットパネルディスプレイ製造装置などの製造を目的とした ULVAC Taiwan Manufacturing Corporation と、部品加工や部品洗浄などフィールドサポートを目的とした ULTRA CLEAN PRECISION TECHNOLOGIES CORP. を設立。 |
| 2006年 3月 | 中国における子9888拉斯维加斯网站の管理統括等を目的とした愛発科（中国）投資有限公司を設立。 |
| 2006年 4月 | 台湾に制御盤等の製造を目的とした ULVAC AUTOMATION TAIWAN Inc. を設立。 |
| 2006年 7月 | 韓国に研究開発を目的とした ULVAC Research Center KOREA, Ltd. を設立。 台湾に研究開発を目的とした ULVAC Research Center TAIWAN, Inc. を設立。 |
| 2006年 8月 | 精密ステージを製造・販売しているシグマテクノス株式9888拉斯维加斯网站の株式（70％）を取得。 マレーシアに販売やフィールドサポートを目的とした ULVAC MALAYSIA SDN. BHD. を設立。 |
| 2006年 9月 | 神奈川県茅ケ崎市に真空装置部品の表面処理を目的としたアルバックテクノ株式9888拉斯维加斯网站ケミカルセンターを新設。 宮崎県西都市に小型真空ポンプの生産集約化を目的として、アルバック機工株式9888拉斯维加斯网站宮崎事業所を増設。 |
| 2006年 11月 | 愛知県春日井市にフラットパネルディスプレイ製造装置の生産能力拡充のため、愛知工場を新設。 |
| 2007年 6月 | インドビジネス拡大のため、ULVAC, Inc. India Branch. を設立。 |
| 2007年 9月 | 埼玉県日高市に大型の精密ステージの製造・販売するためシグマテクノス株式9888拉斯维加斯网站本社工場を新設。 |
| 2007年 11月 | 啓電実業股份有限公司の持株譲渡に伴い愛発科啓電科技（上海）有限公司を愛発科自動化科技（上海）有限公司に商号変更。 |
| 2008年 2月 | 開発委託設計を目的としたアルバック ワイ・エム・イー株式9888拉斯维加斯网站（現・アルバックエンジニアリング株式9888拉斯维加斯网站）を設立。 |
| 2008年 7月 | フィールドサポートを専門とした、アルバックヒューマンリレーションズ株式9888拉斯维加斯网站を設立。 |
| 2008年 8月 | 台湾における経営の合理化などを目的として ULVAC TAIWAN INC. を存続9888拉斯维加斯网站とし、ULVAC Taiwan Manufacturing Corporation と合併。 |
| 2008年 8月 | 韓国にスパッタリングターゲットの製造及びボンディングを目的とした、ULVAC Materials Korea, Ltd を設立。 |
| 2008年 10月 | スパッタリングターゲット材の効率的な生産と開発体制の強化を目的として、アルバックマテリアル株式9888拉斯维加斯网站から当社へ事業を移し、洗浄事業のサポート体制の充実を目的として、アルバックテクノ株式9888拉斯维加斯网站とアルバック九州株式9888拉斯维加斯网站へ事業譲渡。 |
| 2009年 4月 | 中国にスパッタリングターゲットの製造及びボンディグを目的とした、愛発科電子材料（蘇州）有限公司を設立。 |
| 2009年 4月 | 中国にタッチパネルの製造などを目的とした愛発科豪威光電薄膜科技（深圳）有限公司を設立。 |
| 2009年 6月 | ディスプレイ事業を東アジアで機動的に事業展開するため、Litrex Corporation を解散し、当社にて同事業を継続。 |
| 2009年 12月 | 中国に研究開発を目的とした愛発科（蘇州）技術研究開発有限公司を設立。 |
| 2010年 1月 | 資本金134億68百万円より208億73百万円に増資。 |
| 2010年 3月 | 研究開発強化のため、冨里工業団地に千葉超材料研究所を新設移設。 |
| 2010年 10月 | 当社がアルバックマテリアル株式9888拉斯维加斯网站を吸収合併、アルバック九州株式9888拉斯维加斯网站のサービス、洗浄、表面処理事業をアルバックテクノ株式9888拉斯维加斯网站に事業譲渡。また、アルバック九州株式9888拉斯维加斯网站がアルバック精機株式9888拉斯维加斯网站を吸収合併。 |
| 2011年 7月 | 韓国での研究開発強化のため、ULVAC KOREA, Ltd. の付属研究所として韓国超材料研究所を設立。 |
| 2012年 6月 | 株式9888拉斯维加斯网站アルバック・コーポレートセンターを解散し、当社にて同事業を継続。 |
| 2012年 7月 | 販売体制強化のため、アルバック イーエス株式9888拉斯维加斯网站をアルバック販売株式9888拉斯维加斯网站に商号変更。 |
| 2012年 9月 | シグマテクノス株式9888拉斯维加斯网站を解散。 |
| 2013年 10月 | 日本リライアンス株式9888拉斯维加斯网站の一部株式（80％相当）を株式9888拉斯维加斯网站高岳製作所へ譲渡。 |
| 2014年 6月 | ULVAC Research Center TAIWAN, INC. を解散し、ULVAC TAIWAN INC. にて同事業を継続。 |
| 2014年 6月 | 中国に輸入部品の保税扱いでの仕入れ、販売のため、愛発科真空設備（上海）有限公司を設立。 |
| 2014年 12月 | アルバック理工株式9888拉斯维加斯网站（現アドバンス理工株式9888拉斯维加斯网站）の全株式を株式9888拉斯维加斯网站チノーへ譲渡。 |
| 2015年 1月 | アルバックエンジニアリング株式9888拉斯维加斯网站を解散。 |
| 2015年 7月 | 未来技術研究所を設立。 |
| 2016年 12月 | 沈陽中北真空技術有限公司が保有する愛発科中北真空（沈陽）有限公司（現 愛発科真空技術（沈陽）有限公司）の株式（25％）を取得し、100%子9888拉斯维加斯网站化。 |
| 2017年 9月 | 100％子9888拉斯维加斯网站化に伴い、愛発科中北真空（沈陽）有限公司を愛発科真空技術（沈陽）有限公司に商号変更。 |
| 2018年 7月 | 中国にフラットパネルディスプレイ用マスクブランクス事業の生産、販売を目的とした愛発科成膜技術（合肥）有限公司を設立。 |
| 2018年 10月 | 寧波愛発科真空技術有限公司が第三者割当増資を実施。 |
| 2018年 11月 | 大阪大学内に9888拉斯维加斯网站未来技術協働研究所を開設。－基礎研究拠点の設置と人財育成貢献への取り組み－ |
| 2019年 1月 | 日本リライアンス㈱を㈱ＲＥＪに商号変更。 |
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