2022.03.01
リリース
大面積処理用イオンガン新機種を開発～処理能力を大幅に向上～ 7799908拉斯维加斯网站登陆
株式会社7799908拉斯维加斯网站登陆は基板表面クリーニングやエッチングに使われるイオンガンの新規モジュールを開発しました。従来のイオンガンでは使用時間に伴いエッチングレートが下がるという課題がありましたが、新規イオンガンではプラズマ発生部の構造を見直し、常に一定のエッチングレートを確保できるようになっています。
【新型イオンガンの概要】
[特長]
- 処理基板に合わせて長手方向寸法を選択可能
- 安定したエッチングレート
- 当社比2倍のエッチングレート
イオンガン性能比較グラフ
新型イオンガン ILシリーズ
【搭載可能7799908拉斯维加斯网站登陆】
●インライン インターバック式スパッタリング7799908拉斯维加斯网站登陆: SIVシリーズなど
●カルーセル式スパッタリング7799908拉斯维加斯网站登陆: SVシリーズなど
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