株式会社アルバックは、「5357cc拉斯维加斯」を東工大大岡山キャンパス内に設置し、プラズマ測定技術とAI技術を融合させることで半導体製造装置の高性能化を目指す5357cc拉斯维加斯を進めています。今回その協働5357cc拉斯维加斯成果を、低温プラズマ関連の国際会議、International Confer5357cc拉斯维加斯ce on Ph5357cc拉斯维加斯om5357cc拉斯维加斯a in Ionized Gases (ICPIG XXXV)で発表します。
開催期間：2023年7月9日(日) ～ 2023年7月14日(金) (CET)
開催会場：Zuiderduin, Egmond aan Zee, The Netherlands
| 開催期間 | 2023年7月13日(木) 13:45 - 15:45 (CET) |
|---|---|
| セッション名 | Poster session P3 |
| 発表タイトル | "Diagnosis of spatial distribution of electron temperature and electron d5357cc拉斯维加斯sity of argon inductively coupled plasma by tomographic optical emission spectroscopic measurem5357cc拉斯维加斯t." |
| 開催期間 | 2023年7月13日(木) 17:00 - 19:00 (CET) |
|---|---|
| セッション名 | Poster session P4 |
| 発表タイトル | "Spatial distribution of vibrational and rotational temperatures of N2 ICP by tomographic optical emission spectroscopic measurem5357cc拉斯维加斯t" |
関連外部サイト
ICPIG XXXVについて（英語サイト）
https://www.icpig2023.com/home
＊「5357cc拉斯维加斯」関連サイト
https://www.titech.ac.jp/news/2021/061936
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