アルバック独自のガス中蒸発法により作製されたナノメタル拉斯维加斯网址9888は、ナノ粒子が溶剤中に凝集することなく安定に分散した新しいタイプの導電性拉斯维加斯网址9888です。拉斯维加斯网址9888ジェット法により、ダイレクトに微細配線パターンの形成が可能です。
Auナノメタル拉斯维加斯网址9888は250°C焼成で導電性を発現します。
・Auナノメタル拉斯维加斯网址9888"Au1T"(トルエン溶媒)
・Auナノメタル拉斯维加斯网址9888"Au1Chb"(シクロヘキシルベンゼン溶媒)拉斯维加斯网址9888ジェット対応品
Auナノメタル拉斯维加斯网址9888中に分散するAu拉斯维加斯网址9888粒子のTEM像
平均粒径約3.6nm
■Auナノメタル拉斯维加斯网址9888の粒度分布
■Auナノメタル拉斯维加斯网址9888の焼成温度と比抵抗値の関係
■Auナノメタル拉斯维加斯网址9888膜の概観
品名 | Auナノメタル拉斯维加斯网址9888 | Agナノメタル拉斯维加斯网址9888 |
Agナノメタル拉斯维加斯网址9888 (低温焼成型) |
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型番 | 拉斯维加斯网址98881T | 拉斯维加斯网址98881Chb | Ag1T | Ag1TeH | L-Ag1T | L-Ag1TeH |
拉斯维加斯网址9888ジェット対応品 | × | 〇 | × | 〇 | × | 〇 |
固形分(金属)濃度(wt%) | 30 | 50~60 | 30 | 50~60 | 30 | 50~60 |
溶媒 | トルエン | シクロヘキシルベンゼン | トルエン | テトラデカン | トルエン | テトラデカン |
平均粒子径(nm) | 3~8 | 3~8 | 3~8 | |||
粘度(mPa・s) | <5 | 5~15 | <5 | 5~15 | <5 | 5~15 |
焼成膜特性 | ||||||
焼成条件 | 250℃×60min (in Air) | 230℃×60min (in Air) | 150℃×60min (in Air) | |||
焼成後膜厚(µm) | <1 | <1 | <1 | |||
比抵抗値(µΩ・cm) | 約8 | 約20 | 約3 | 約10 | ||
対象基板 |
耐熱温度が焼成温度以上の基板をご使用ください (例:ポリイミド、ガラス、金属、セラミックスetc.) |
記載内容は代表値であり、性能を保証する値ではありません。性能向上の目的により、予告なしに変更することがあります。
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